碳化硅材料硬度极高，达莫氏9.2-9.6，我们首先引入0.15mm电镀金刚石线，搭配高速切割设备（线速达到1500m/min），有效降低碳化硅衬底表面损伤层，增加出片率，提高晶体利用率，降低成本，并保证大尺寸碳化硅切割片的弯曲度BOW、翘曲度WARP等指标；